Proton OnSite Proton — Производство генераторов водорода, азота, воздуха.

Применение

Полупроводниковое производство


Генераторы водорода Proton OnSite прекрасно подходят для обеспечения ультрачистым водородом кремниевых полупроводниковых производств и процессов химического осаждения из паровой фазы. Они производят водород под давлением от 200 фунтов на кв.дюйм и выше без механического сжатия, что гарантирует постоянство состава и заведомо низкое содержание кислорода и азота. Водород производится под давлением, достаточном для проведения очистки на палладиевом или химическом очистителе для предотвращения реакций примесей.