Proton OnSite Proton — Производство генераторов водорода, азота, воздуха.

Оборудование для производства полупроводников

Полупроводники


Специалисты в области производства полупроводников настаивают на использовании в технологических процессах особо чистого газа-носителя, поскольку он является ключевым компонентом этих процессов. Продукция Proton OnSite, в которой используется технология протонообменных мембран (ПОМ), предназначена для удовлетворения как раз таких потребностей. Генераторы водорода, производимые Proton OnSite, представляют собой эффективное, надежное, повышающее производительность средство обеспечения водородом ультравысокой степени чистоты процессов полупроводниковой промышленности. Они отличаются простотой установки, возможностью автоматизированной работы и легкостью получения разрешительных документов. Данные генераторы способны производить чистый, сухой водород под давлением 200 фунтов на кв.дюйм и выше для непосредственного применения или для образования смеси с производимым или подаваемым азотом при создании синтетической атмосферы высокой чистоты.

Генераторы водорода Proton OnSite полностью снимают необходимость в доставке и хранении опасных газов, таких как аммиак и водород. Вкупе с генераторами азота такие системы могут полностью избавить от потребности в доставке и хранении газов.