Использование водорода в радиотехнической промышленности

В радиотехнической промышленности водород применяется в производстве полупроводниковых приборов. Одним из базовых процессов технологии полупроводниковых приборов является эпитаксия из газовой фазы – то есть выращивание ориентированного кристалла на поверхности подложки – другого кристалла. В процессе эпитаксии водород часто применяется в качестве газа-носителя. В отличие от большинства других газов, в том числе кислорода или азота, захват наращиваемой структурой молекул водорода из газовой фазы не имеет существенного влияния на рост кристалла и его структуру, а захваченный водород легко удаляется простым отжигом.

В радиотехнической промышленности и полупроводниковом производстве используют генераторы водорода серии: S-series, H-series и C-series.

Использование водорода в радиотехнической промышленности